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篤摯儀器（上海）有限公司
聯(lián)系人：朱經(jīng)理
手機：15921165535
電話(huà)：86-021-58951071
傳真：86-021-50473901
地址：上海市浦東外高橋自貿區富特東三路526號5號樓311室
郵箱：814294500@qq.com
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產(chǎn)品中心
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車(chē) |
ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀，繼承了工業(yè)標準GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點(diǎn)，融合了機械相移技術(shù)、創(chuàng )造性的數據采集技術(shù)、高性能的光電成像系統、振動(dòng)補償軟件、非球面測量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等，是ZYGO技術(shù)的集中體現。 所有VeriFire™系列產(chǎn)品都能提供標準的干涉測量，每種型號均具有特殊的應用。Verif ire"系統真正的斐索型激光光路設計延續了zYG0在面形計量行業(yè)*與倫比的經(jīng)驗。共光路的設計結合ZYG0**的采集算法，和功能強大的批軟件實(shí)現了高精度的表面計量與先進(jìn)的分析能力。
關(guān)鍵性能：
? 斐索型共光路系統保證精密測量
? 友好的圖形用戶(hù)界面，易于生產(chǎn)線(xiàn)上操作
? 創(chuàng )新箅法使其在振動(dòng)環(huán)境中也能實(shí)現準確計量
? 利用先進(jìn)的過(guò)程控制技術(shù)，快速提取測試中不變的信息
? 每一幀數據都將振動(dòng)信息凍結
所有 Verifire™ 系列產(chǎn)品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用,列于下表:
| 型號: | XPZ | QPZ | ATZ | MST | Asphere |
| 核心技術(shù): | 相位移式干涉儀 (PSI) | 傅立葉轉換相位移 式干涉儀 | **非球面演算 法相位移式干涉儀 | ||
| 光源: | 點(diǎn)光源 | 點(diǎn)光源和 Ring of Fire™環(huán)形光源(波紋抑制) | |||
| 變焦: | 自動(dòng) 1-6X | 數位控制 1-5X | |||
| 聚焦: | 自動(dòng) | 數控步進(jìn)焦距控制 | |||
| 解析度: | 640 × 480 圖元 | 1k × 1k 圖元 | |||
| 幀速: | 75 Hz | 100 Hz | 43 Hz | ||
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集成大量常用測量程序模塊? 多個(gè)樣品的同時(shí)分析? 球面曲率半徑的測量 ? 角錐和棱鏡測量 ? 雙球面和三平板的測量 ? 相對角度和楔板楔角的測量 ? 材料均勻性的測量 ? 傅立葉變換移相干涉測量(MST型) ? 動(dòng)態(tài)設備如MEMS的測量 ? 薄膜上下層形貌和厚度的測量 ? 金屬零件的測量
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簡(jiǎn)單的定制過(guò)程，用戶(hù)可調? 設定數控采集和數據處理過(guò)程中的各種參數? 選擇需要顯示的圖像曲線(xiàn)和數據結果 ? 幾百種符合工業(yè)標準的數據可供選擇 ? 自定義屏幕上各種窗口的編排 ? 保存和輸出每個(gè)樣品參數測量.分析設定數據結果 ? 適用于工業(yè)化生產(chǎn)的軟件 ? 質(zhì)量控制--自動(dòng)顯示”合格/不合格” ? 編程功能--儀器自動(dòng)按用戶(hù)所編程序模式運行.產(chǎn)生相應的信息 ? 根據用戶(hù)定義的計算公式，產(chǎn)生相應的結果 ? 實(shí)時(shí)屏現SPC ? 自動(dòng)數據保存和統計 ? 應用程序”鎖定“功能
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強大的數據分析功能? 數據濾波和剪輯? 像差計算 ? PSF和MTF圖 ? 斜率圖/功率譜密度/環(huán)繞能 ? ASCII和"XYZ"數據格式 ? Zernike分析 ? 數據和圖像加減、縮放、旋轉和轉換 ? ZEMAX、CodeV和0SL0數據格式
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系統
| 測量功能 | 精密測量各種反射面和光學(xué)系統的表面面形、精密測量光學(xué)系統的傳輸波前 |
| 測量技術(shù) | QPSI快速機械相移模式和傳統的機械相移干涉模式（PSI） |
| 校準系統 | 快速條紋采樣系統(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線(xiàn)) |
| 測量光束直徑 | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 對準視場(chǎng)范圍FOV | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光學(xué)中心線(xiàn) | 4.25″（108mm） |
| 激光光源 | 大功率穩頻氦-氖激光，III* |
| 波長(cháng) | 633 nm |
| 頻率穩定度 | < 0.0001 nm |
| 相干長(cháng)度 | ＞100m |
| 成像分辨率 | 1024 x 1024像素 |
| 幀速 | 100Hz（PSI） |
| 數據采集時(shí)間 | 130-300ms |
| 數據模式 | 8位 |
| 放大 | 電控1-5X |
| 偏振 | 接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈調焦范圍 | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 計算機和軟件 | 高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO**軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安裝構造 | 水平臥式或垂直立式 |
| 附件 | 詳細參考ZYGO激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463 |
| 尺寸(長(cháng)x寬x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 電源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作環(huán)境：
| 溫度 | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 溫度變化率 | ＜1.0°C/15min |
| 濕度 | 相對濕度5% - 95% , 無(wú)凝結 |
| 隔振 | QPSI模式可以在振幅不超過(guò)150nm的震動(dòng)環(huán)境下進(jìn)行測量；機械移相測量模式推薦使用被動(dòng)隔振系統。 |
性能參數：
| RMS重復性（3） | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重復性（4） | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5) | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
